應(yīng)用現(xiàn)場：中國上海某集成電路工廠

服務(wù)商：濟南孚恩設(shè)備安裝工程有限公司

行業(yè)特點：作為無油壓縮空氣的用氣大戶電子集成電路行業(yè)，無油壓縮空氣使用標(biāo)準(zhǔn)也是最高的：露點-70℃@8.5bar，無油（含油量＜0.01mg/m3），≥0.1μm顆粒需＜100pcs/m3。另外，穩(wěn)定不間斷供氣對于設(shè)備的穩(wěn)定性、對于運營團(tuán)隊的技術(shù)&經(jīng)驗要求也是極高。

案例詳情：浦東新區(qū)某集成電路工廠在建成初期，配套的大宗氣體工廠建設(shè)受用地手續(xù)影響，無法按時建設(shè)和供應(yīng)大宗氣體（主要包括CDA和N2)。此時，氣體供應(yīng)商找到我們，希望能夠我們能夠配合出具合理方案供選擇。此項目由于從開始的調(diào)試氣源到后期的生產(chǎn)供氣，需求的氣量呈階梯狀逐步上升，需要設(shè)備從小到大逐步增加，氣量從開始1000Nm3/h 至最終15000Nm3/h ，氣體品質(zhì)需要達(dá)到集成電路通用標(biāo)準(zhǔn)，運行期間穩(wěn)定不間斷供應(yīng)，需室外露天直接使用，且噪音≤60dB。接到客戶需求，我們與客戶經(jīng)過無數(shù)次反復(fù)溝通確認(rèn)，最終制定了符合要求的整體方案，獲得了客戶的認(rèn)可。從第一臺設(shè)備2018年3月份進(jìn)場，至2019年11月份大部分設(shè)備撤場，最高峰時12套壓縮機設(shè)備（10套空氣壓縮機+2套氮氣壓縮機）在現(xiàn)場連續(xù)無故障運行整16個月，經(jīng)歷了2個炎熱的夏季和1個冬季?？蛻舻母叨日J(rèn)可，給了此項目中我們所有的努力和付出一個最好的獎勵。

具體方案：

1）生產(chǎn)用CDA供氣：9臺集裝箱式ZT250/275風(fēng)冷電動式無油雙螺桿空壓機 + 1套柴油驅(qū)動移動式風(fēng)冷無油雙螺桿空壓機 + 10套高溫型冷干機&微熱吸附式干燥機 ≈16000Nm3/h CDA ( 無油，露點 -73℃@8.5bar )

2）生產(chǎn)用中壓氮氣：1套集裝箱式ZT275-N2無油氮氣壓縮機+1套集裝箱式ZT132-N2無油氮氣壓縮機≈ 3200Nm3 N2（@8bar）

方案特點：

1）四季全年室外露天直接使用，穩(wěn)定可靠，靜音效果佳；

2）電動機連續(xù)運行供應(yīng)氣體，多機單獨運行，柴油直驅(qū)無油機作為備機，不受水電供應(yīng)影響，任何單臺設(shè)備故障/檢維修均不影響生產(chǎn)，一旦壓力下降到設(shè)定值，可實現(xiàn)快速啟動，確保壓力平穩(wěn)；

3）氮壓機將氣化后的低壓（4bar）氮氣充分利用，使用氮壓機增壓至8bar滿足生產(chǎn)需要。